Rückstreumessverfahren

Beim Rückstreumessverfahren treffen Teilchen (Isotopen) auf eine zu messende Schicht. Diese treten beim Eindringen in die Schicht in Wechselwirkung mit den Atomen der Schicht und werden aufgrund ihrer geringen Masse an den Atomen gestreut. In Folge unterliegt die Bewegung der Teilchen starken Richtungsänderungen bis hin zur Rückstreuung. Der eigentliche Messeffekt besteht darin, die Zahl der vom Messobjekt zurückgestreuten Elektronen pro Zeiteinheit zu messen. Die Dicke einer Schicht auf einem Grundwerkstoff lässt sich dann bestimmen, wenn die Zahl der zurückgestreuten Elektronen der Schicht deutlich unterschiedlich ist gegenüber der vom unbeschichteten Grundwerkstoff zurückgestreuten Zahl von Elektronen. Da das Rückstreuverfahren auf einer Flächengewichts- bzw. Flächendichtebestimmung beruht, muss sich die Dichte des Beschichtungsmaterials deutlich von der Grundwerkstoffdichte unterscheiden.